تستخدم آلة ترقق بسكويت الويفر كربيد السيليكون بشكل أساسي في ترقق مواد الركيزة مثل رقاقة السيليكون ، زرنيخيد الغاليوم ، سيراميك كربيد السيليكون ، سيراميك الزركونيا ، الجرافيت ، تانتالات الليثيوم وما إلى ذلك.
يمكن لآلات طحن الويفر العمودية عالية الدقة طحن مواد أشباه الموصلات من الجيل الثالث مثل SiC و GaN و GaAs و Si و ZnO. سلسلة DL-GSD عبارة عن آلة طحن ذاتية الصنع في الصين ، وقد وصل أدائها إلى المعيار العالمي.